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北京中惠普探讨气体净化器的应用领域

返回列表 来源:未知 发布日期:2019-05-22 15:24【
本文北京中惠普分析技术研究所浅谈气体净化器应用的相关领域。

气体净化器的应用领域
即使气源纯度等级已经足够高,仍然需要使用局部气体净化器来保证最终进入反应腔气体的纯度。因此,气体净化器的主要目的并非持续提高气体纯度,而是为了降低气体纯度的波动。图1为气体净化器在气体输送系统中安装的位置。频繁更换气体容器会增加人为误操作的风险,并改变气体反应腔和气体喷雾器内杂质污染等级,并且还会加大操作人员暴露于气体泄漏中的可能。

大量使用的气体——例如:大
宗的氮气或者氢气以及用于CVD和外延工艺的硅烷(SiH4)和氨气(NH3)——通常采用大宗气体容器(例如:标准化的气罐以及运输车辆)运送至fab,并存储于fab内或者外部储存地点。如图1所示,大宗气体输送系统通常在气体输送管线上以及其它多点安装气体净化器。这些净化器能够清除掉气罐和阀门或者气体输送管线内产生的杂质污染。对于某些毒性和腐蚀性更大的气体,例如:金属有机物化学气相沉积(MOCVD)和离子注入工艺中使用的砷烷(AsH3)和磷烷(PH3),以及刻蚀和清洗工艺中使用的HCl等气体通常储存在压强低于大气压的气罐中,以防止由于事故导致的气体泄漏,并且这些气罐通常都装备有内置式的过滤器和气体净化器以降低气罐内以及气罐间的波动,以及配置残气压力阀门来消除污染。

图1气体净化器在气体输送系统内安装位置的示意图。大宗气体输送系统在气体输送管线以及其它多点上安装有气体净化器。