中惠普 中惠普

服务热线:176 2192 3717
021-58201756

他们都在找: 中惠普氢气发生器 中惠普氮气发生器 全自动空气源 氮氢空一体机
当前位置主页 > 新闻动态 > 行业动态 >

电子气体净化器现状与趋势

返回列表 来源:未知 发布日期:2019-05-14 11:58【
电子气体是集成电路、LED、平板显示、光纤、光伏电池等高科技产业的基石和源性支撑材料,广泛用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗,或用作载气、保护气氛等。电子气体对纯净度的要求极高,即使是痕量杂质,也可导致产品缺陷,严重影响产品性能
和成品率。此外,许多痕量杂质会污染制成设备,不仅导致关键工艺参数的偏移,最终还有可能因此而不得不更换或者维修这些仪器,而更换或维修动辄需要几百万甚至上千万美元。随着半导体和微电子技术向更高性能、更高集成度例如 300 mm 以上晶圆、30 nm 以下线宽发展,对电子气体的纯净度,尤其是 H2O、O2、烃类和固体颗粒物等杂质的允许含量提出了越来越严苛的要求 。以精馏、吸附为主的气体分离提纯技术,难以用可行的成本满足上述要求,而且电子气体使用前的封装、储存、输送等每一个环节,都可能造成气体纯净度的下降。
 
电子气体净化器是在电子气体使用点( 末端)现场脱除电子气体中的 H2O、O2、烃类等痕量杂质和固体颗粒物的关键纯化装置。通过净化器,对N2、H2、O2、稀有气体等大宗电子气体和 HCl、NH3、硅烷等电子特种气体进行在线超高纯净化,不仅可有效去除电子气体中的杂质,使主要杂质含量由10 - 6级降低到 10 - 9、10 - 12 级 ,而且将气体灌装、存储、传输和控制系统对气体纯度的影响降至最小,从而极大地改善工艺能力,降低产品缺陷,提高制成产量,满足半导体、微电子以及相关高技术发展的需要。现场净化技术对电子气体在集成电路和LED、平板显示、光导纤维等相关产业的成功运用,起着保驾护航的作用,与电子气体一样,同属我国亟待发展的战略资源与关键技术。
 
超临界流体是温度和压力同处临界值之上的物质,如超临界二氧化碳。超临界流体具有奇特的气液二象性,其密度和溶剂强度接近液体,而粘度、扩散性和表面张力接近气体,因此可以作为粘度、扩散性、表面张力象气体的溶剂,取代传统意义上的溶剂进行多孔载体为基础的催化剂、吸附剂制备,并具有常规方法难以企及的优势。超临界流体容易达到复杂窄小孔道、高纵横比结构和难润湿表面,且不破坏多孔载体原有的骨架结构。利用超临界流体,既可对多孔载体进行清洗、纯化,去除微量无机和有机杂质,有效避免载体杂质对电子特气可能造成的二次污染,又能最大限度地利用载体的多孔性即表面积和孔体积负载催化、吸附活性组分,在高负载量下仍然确保活性组分的高分散性,达到高效率、高容量净化电子特气的目的。多孔载体经超临界二氧化碳清洗纯化、再负载 60% 催化吸附活性组分后所得净化材料的透射电镜照片。在 60% 高负载率下,活性组分没有发生严重聚集,仍基本保持单分散的纳米颗粒状态,平均粒径3nm,使得尽可能多的活性组分表面与净化气体接触,确保净化效率与容量。不同的多孔载体和活性组分,均可得到类似的负载
结果。